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      UPM系統解決方案
      微泓?致力于應用在精密與超精密加工(Precision, ultra-precision machine) ,精密測量(Precision measurement)與精密操作(Precision manipulationg)的多維精密運動系統的研發與制造。微泓目前的UPM系統解決方案專注:1)半導體和泛半導體制造裝備領域,提供潔凈環境使用的多維精密運動平臺和傳輸機械手。2)2-3維精密轉臺,為光電傳感器、導彈導引頭、衛星傳感器、慣性導航制導單元提供多軸角度測試、校準、目標跟蹤與指向…

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