多维精密运动平台

微泓致力于多维精密运动平台的研发与制造。根据客户的应用需求，为客户量身定制多维运动系统，微泓可以提供的成熟的系统解决方案：1）12吋晶圆的光学关键尺寸，薄膜厚度，光刻叠对测量中的四维精密运动平台。2）12吋晶圆缺陷在线检测的四维精密运动平台。3）球面和非球面表面测量中的四维精密运动平台。

多维机械手的运动学构型 kinematic Chains

◼ 2-DOF精密运动系统：HXY-龙门XY

◼ 3-DOF精密运动系统：HXY+Z-龙门XY+Z轴，HXY+C-龙门XY+C轴

◼ 4-DOF精密运动系统：HXY+Z+C-龙门XY+Z轴+C轴

2-DOF HXY精密运动平台

3-DOF HXY+C精密运动平台

3-DOF HXY+Z精密运动平台

4-DOF HXY+Z+C精密运动平台

2-4轴运动控制系统

微泓的洁净室制造实力

◼ 100平米的万级洁净间，用于洁净环境下的精密装配、调试与测试。

◼ 公司拥有激光干涉仪，主轴分析仪等精密测试仪器，满足系统设计过程中对定制系统的标定、精度测试和运动特性的测试要求。

◼ 专门针对运动定位系统的运动时不同敏感位置的颗粒检测与洁净度评估系统。

微泓的洁净型运动解决方案

◼ 采用电缆管理系统，降低颗粒物的排放量。

◼ 专属润滑剂用于洁净环境使用，不含碳氢化合物。

◼ 材料表面进行特殊处理。

◼ 专门的制造工艺，使运动系统达到最高的系统级洁净度。

◼ 洁净室级包装。