洁净机械手

多维机械手的运动学构型 kinematic Chains

◼ 3-DOF洁净机器人：2C+Z

◼ 4-DOF洁净机器人：3C+Z

◼ 5-DOF洁净机器人：4C+Z

◼ 6-DOF洁净机器人：2A+2B+2C（并联机器人）

3-DOFs 洁净机器人

4-DOFs 洁净机器人

5-DOFs 洁净机器人

6-DOFs 洁净机器人

洁净机器人控制器

微泓的洁净室制造实力

◼ 100平米的万级洁净间，用于洁净环境下的精密装配、调试与测试。

◼ 公司拥有激光干涉仪，主轴分析仪等精密测试仪器，满足系统设计过程中对定制系统的标定、精度测试和运动特性的测试要求。

◼ 专门针对运动定位系统的运动时不同敏感位置的颗粒检测与洁净度评估系统。

微泓的洁净型运动解决方案

◼ 采用电缆管理系统，降低颗粒物的排放量。

◼ 专属润滑剂用于洁净环境使用，不含碳氢化合物。

◼ 材料表面进行特殊处理。

◼ 专门的制造工艺，使运动系统达到最高的系统级洁净度。

◼ 洁净室级包装。