SR-S系列丨迷你型丨高速、轻载和高响应-上海微泓自动化设备有限公司

◼ Ø60~Ø80mm直径

◼ 运动分辨率0.3arc-sec

◼ 重复定位精度±10arc-sec

◼ 节省空间，安装方便

◼ 最大负载可达60kg

mPT-SR-S系列迷你型产品通过设计优化减小转台的直径和高度，最小直径达到Ø60mm，重量小于0.7kg，易于安装。转台采用机械轴承作为支承，绝对式编码器作为位置反馈，获得0.3arc-sec运动位置分辨率。适合采用20-96VDC低压伺服驱动器，适用于有空间高度限制和洁净环境要求的场合使用，四种规格迷你型的产品可供选择。

典型应用

◼ 晶圆搬运设备

◼ 接触、非接触测试设备

◼ FPD贴合设备

◼ 芯片拾取设备

伺服电机

◼ 三相力矩电机

◼ 无刷型

◼ 有齿槽

定制信息

◼ 洁净度Class1-100

◼ 24V抱闸

◼ 增量式编码器

技术规格
外形尺寸图
型号与订货信息
相关驱控与附件

参数名称	单位	S60F-76-MI	S80L-50-ME	S80L-70-ME	S66F-55-ME
运动行程	Deg.	360连续	360连续	360连续	360连续
分辨率	arc-sec	0.3	0.3	0.3	0.3
定位精度	arc-sec	40	40	40	40
重复定位精度	arc-sec	20	20	20	20
轴向跳动	um	10	10	10	10
径向跳动	um	20	20	20	20
最大速度	rpm	500	300	300	500
轴向承载	kg	10	60	60	22.2
力矩载荷	N·m	0.4	0.8	2	0.189
连续力矩	N·m	0.2	0.4	1	0.212
峰值力矩	N·m	0.6	1.2	3	0.69
额定输出功率	W	10.5	12	31.4	22.3
重量	kg	0.68	0.8	1.5	0.66
材质	--	铝合金	铝合金	铝合金	铝合金

☐ 订货举例：mPT-SR-S60F-76-MI-J3

mPT	SR	S	60F	76	MI	J3
产品大类	产品小类	精度等级	外形特征尺寸	转台高度	母线电压/电机类型	编码器类型/等级
微米级定位产品	SR:机械直驱转台	S：标准型 ST：高刚度标准型	60：60mm 150：150mm F：有安装法兰 L：无安装法兰	50：50mm 60：60mm 150：150mm	M H：540VDC M：310VDC L：24-100VDC I I：内转子型 E：外转子型	J J：绝对式 I：增量式 3 1-18Bit,×4 2-20Bit,×40 3-24Bit,×100 4-26Bit,×200 5-30Bit,×400 6-32Bit,×1000

订货编号	产品型号	中孔直径 mm	额定转速 rpm	连续力矩 N·m	峰值力矩 N·m
516-00032-021	mPT-SR-S60F-76-MI-J3	6	500	0.2	0.6
516-00033-000	mPT-SR-S80L-50-ME-J3	15	300	0.4	1.2
516-00034-000	mPT-SR-S80L-70-ME-J3	15	300	1	3
516-00053-000	mPT-SR-S66F-55-LI-J3	19	1125	0.212	0.69

转台大类	机械转台				气浮转台
转台类型	SR-S	SR-ST	SR-P	SR-UP	GR-P	GR-UP
驱动器	标准伺服驱动器		精密伺服驱动器		超精密伺服驱动器
型号	mPT-MD-S系列		mPT-MD-P系列/UP系列		mPT-MD-UP系列

☐ 推荐伺服驱动器：mPT-MD-S-111-N1(举例说明)

mPT	MD	S	1	1	1	N1
产品大类	产品小类	适用转台精度等级	额定电压	运动轴	额定电流	驱动/编码器类型
微米级定位产品	MD伺服驱动器	S：标准型 P：精密型 UP：超精密级	1：直流12-100V 2：交流220V 3：交流400V	1：单轴 2：两轴	1 0: 1.5A/200W 1: 2.5A/400W 2: 3.5A/750W 3: 5A/1KW 4: 7.5A/1.5KW 5: 10A/2KW 6: 13A/3KW 7: 5A/0.5KW 8: 10A/1KW 9: 15A/1.5KW	N N：脉冲型 A：EtherCAT总线型 C：CANopen 1 1：AqB增量式 2：Absolute A 3：BISS C 4：EnDAT 5：1Vpp 模拟量输入

连续力矩(N∙m)	转台型号	推荐驱动器型号	驱动器订货编码	尺寸类型
0.2	mPT-SR-S60F-76-MI-J3	mPT-MD-S210-N2 mPT-MD-S210-A2	532-00019-000 532-00020-000	A
0.212	mPT-SR-S66L-55-MI-J3
0.4	mPT-SR-S80L-50-ME-J3
1	mPT-SR-S80L-70-ME-J3

☐ 附件：线缆举例：ML-A1A-18-025-00

ML	A	1	A	☐	☐	00
产品类别	转台端插头	驱动器端插头	电缆材质	线缆规格	线缆长度	流水号
ML：动力线电缆	A：DB9W4插头-孔 B：DB3V3插头-针	1:UVWPE线	A:铜质线缆	20:20AWG/0.5mm2 18:18AWG/0.75mm2 15:15AWG/1.5mm2	025:2.5m 050:5m 100:10m	00：标准件 01：非标件流水号 ......
EL：编码器线电缆	A：DB9插头孔,两排 B：DB15插头孔,两排 C：DB9插头针,两排 D：DB15插头针,两排	1:DB15插头-针,三排 2:DB26插头-针,三排 3:D型1394接头-孔 4:DB15插头-针,两排	A：铜质线缆	24:24AWG/0.25mm2	025:2.5m 050:5m 100:10m	00：标准件 01：非标件流水号 ......

规格型号	订货编码	适配驱动器	备注
ML-A1A-18-025-00	580-00006-000	mPT-MD-S210-N/A2	2.5m电机动力线缆
ML-A1A-18-050-00	580-00014-000	mPT-MD-S210-N/A2	5m电机动力线缆
EL-A1A-24-025-00	580-00009-000	mPT-MD-S210-N/A2	2.5m编码器线缆
EL-A1A-24-050-00	580-00015-000	mPT-MD-S210-N/A2	5m编码器线缆

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