微泓^®为用户提供超精密直驱转台产品，包括直驱伺服电机（Direct-Drive）驱动的气浮直驱转台和配套超精密伺服驱动器（mPT-MD-UP系列）。
   超精密直驱转台包括精密级（P系列）和超精密级（UP系列）。P系列超精密直驱转台采用自主研发的直驱无齿槽伺服电机。
   GR-P系列超精密直驱转台配套超精密伺服驱动器mPT-MD-UP系列驱动器，GR-UP系列超精密直驱转台配套专用驱动器mPT-MD-UP-ETO。运动控制器可选用微泓^®的EtherCAT运动控制器，用户也可自选EtherCAT总线控制器，给予客户更多的配置空间。
  微泓^®的超精密气浮直驱转台可广泛应用于精度测量，纳米计量，高精度硅片检测，液晶平板精密检测，Nano-Xray绕射，光学元件检测，超精密加工机床等领域。