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UPM系统解决方案
微泓®致力于应用在精密与超精密加工(Precision, ultra-precision machine) ，精密测量(Precision measurement)与精密操作(Precision manipulationg)的多维精密运动系统的研发与制造。微泓目前的UPM系统解决方案专注：1）半导体和泛半导体制造装备领域，提供洁净环境使用的多维精密运动平台和传输机械手。2）2-3维精密转台，为光电传感器、导弹导引头、卫星传感器、惯性导航制导单元提供多轴角度测试、校准、目标跟踪与指向。
微泓能为用户提供纳米、微米以及微-纳结合的运动与定位控制系统，包括标准化产品以及定制计划产品（ETO,Engineer-To-Order）。
ETO流程
